北京大學引入埃納膜iCVD設備 開啟有機納米材料新篇章
2024年7月,埃納膜科技的iCVD(引發式化學氣相沉積,型號:iCV-RME16)設備正式交付北京大學材料學院,并完成調試,投入使用。作為北京大學首臺iCVD設備,標志著我國在納米級有機材料制備及應用領進入新的階段,為新型納米器件的開發及基礎科學研究提供了關鍵支撐。
北京大學材料學院長期致力于新型材料的合成與器件化應用,此次引入國產iCVD設備進一步推進有機納米材料在半導體領域的發展。

產學研協同突破”卡脖子”難題
此次合作實現了設備工藝與科研需求的深度適配,埃納膜將持續優化智能控制系統,推動iCVD技術標準化和產業化。


